Utilização de um fluxômetro de massa na injeção controlada de gases em vácuo

Resumo

A medição e o controle de vazão de massa são itens necessários à reprodutibilidade de processos tecnológicos que utilizam gases como matéria-prima, em que a estequiometria e o tempo de processo bem definidos são requeridos. Para medir a vazão de massa, são utilizados os mass flow meters (MFM). Para controlar a vazão de massa é usado o mass flow controller (MFC), que consiste em uma válvula de controle acoplada a um MFM. Por meio de um aparato simples de medida (o calibrador), são feitas a aferição e calibração dos medidores em regime de vácuo. Neste trabalho, explicam-se o princípio físico de funcionamento, o método de aferição e calibração e as aplicações tecnológicas dos medidores. Para tanto, a injeção controlada de nitrogênio em uma câmara de vácuo foi aferida, resultando em uma função linear da pressão de N em função da temperatura dentro da câmara para um fluxo de 10 sccm.