Este trabalho utiliza a técnica de Actinometria “in-situ” para medir a concentração de H atômico em um plasma reativo de microondas no processo de síntese de diamante CVD (“chemical vapor deposition”). A linha de Balmer H? foi observada como função da concentração de O2 e CH4 na mistura precursora, utilizando argônio como gás inerte de referência (“actinometer”). A variação da linha de hidrogênio atômico com a adição de O2 depende da concentração de metano. O aumento da emissão de H atômico é explicado pelas reações com o oxigênio que geram hidrogênio atômico. Este resultado é consistente com a literatura para altas concentrações de metano (6,5 sccm). Para menores concentrações de metano (<3,0 sccm) o comportamento da emissão da linha de Balmer H? se inverte, mostrando que outras reações devem ocorrer, nas quais esse hidrogênio é consumido. Os resultados obtidos em espectroscopia de emissão óptica são relacionados como a morfologia e qualidade do filme de diamante, observados por microscopia eletrônica de varredura e medidas de espalhamento Raman.
