ANÁLISE DA METALIZAÇÃO SOBRE LASERS SEMICONDUTORES

Autores

  • F. C. Prince
  • K. M. Ito
  • V. S. Sundaram
  • N. B. Patel

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v1i1.632

Resumo

O contatometal-semicondutores é de grande importência na fabricação de lasers semicondutores. Neste estudo foi feita a análise da contato "multi-metal" sobre lasers de InGaAsP, através das técnicas de microssonda eletrônica e espectroscopia de Auger. Testes de durabilidade destes contatos foram feitos pelo aquecimento dos mesmos a temperatura de 300°C por 72 horas no ar. A análise das amostras assim tratadas, mostraram qua a difusão de zn da interface metal/semicondutor à superfície é principal causa do aumento da resistência de contato

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