"PLASMA ETCHING" EM FILMES FINOS DE POLÍMEROS
DOI:
https://doi.org/10.17563/rbav.v5i1-2.894Resumo
Diferentes tipos de polímeros foram decapados pela técnica de "plasma etching" empregando-se oxigênio. Serão apresentados os resultados obtidos para a velocidade de decapagem em função dos parâmetros do "plasma etching" tais como pressão de trabalho, fluxo dos gases e potência injetada. Inclui-se um estudo da qualidade da decapagem por Microscopia Eletrônica de Varredura.Downloads
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