Neste trabalho foram desenvolvidos processos de corrosão por plasma de filmes de carbono tipo diamante (DLC – Diamond Like Carbon), visando sua aplicação em guias de onda em dispositivos de óptica integrada que é a base dos dispositivos fotônicos. Os filmes de DLC apresentam diversas caraterísticas físico/química que o tornam excelente candidato como material estrutural em dispositivos fotônicos; eles são inertes quimicamente, transparentes na região do visível/infravermelho, materiais duros e alto lubrificantes, além destas vantagens a deposição por sputtering é feita a temperatura ambiente, o que o torna compatível com etapas de pós-processamento em dispositivos optoeletrônicos.
