Simple method for measuring the porosity, thickness and refractive index of porous silicon, based on the Fabry-Pérot interference spectrum

Autores

  • Tiago Franca Paes Universidade Federal da Bahia
  • Antonio Fernando Beloto Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais
  • Ellen Christine de Souza Galvão Instituto de Ciência e Tecnologia (ICT), UNIFESP
  • Luiz Angelo Berni Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v35i3.1044

Palavras-chave:

porous silicon, porosity, thickness, refraction index.

Resumo

This article presents a technique to estimate, nondestructively, the thickness, porosity and refractive index of porous silicon samples. The technique is based on the Fabry-Pérot interference spectrum analyzed by the Reflectometric Interference Fourier Transform Spectroscopy (RIFTS). The technique, also known as SLIM - Spectroscopic Liquid Infiltration Method (Segal 2007) takes into account the infiltration of a liquid with known refractive index inside the pores of the samples.

Biografia do Autor

Tiago Franca Paes, Universidade Federal da Bahia

Professor adjunto do Departamento de Física Geral do Instituto de Física

Antonio Fernando Beloto, Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais

Pesquisador do Grupo de Dispositivos Fotovoltaicos do Laboratório Associado de Sensores e Materiais

Ellen Christine de Souza Galvão, Instituto de Ciência e Tecnologia (ICT), UNIFESP

Bolsista estágio do Grupo de Dispositivos Fotovoltaicos do Laboratório Associado de Sensores e Materiais

Luiz Angelo Berni, Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais

Pesquisador do Grupo de Dispositivos Fotovoltaicos do Laboratório Associado de Sensores e Materiais

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Publicado

2017-02-21

Edição

Seção

Superfícies e Filmes Finos