FABRICAÇÃO DE CRISTAIS FOTÔNICOS 2D UTILIZANDO LITOGRAFIA HOLOGRÁFICA E PLASMA RIE

Autores

  • J. W. Menezes
  • F. A. Quiñónez
  • A. M. Nunes
  • R. D. Mansano
  • E. S. Braga
  • L. Cescato

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v26i1.11

Resumo

Neste trabalho, foi utilizada a técnica de litografia holográfica aliada à litografia por íon reativo (RIE) para fabricação de cristais fotônicos bidimensionais em dois tipos diferentes de materiais: Si cristalino(100) e filmes de carbono amorfo hidrogenado(a-C:H).

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Publicado

2007-12-03

Edição

Seção

Artigos