O objetivo do presente trabalho é a deposição de filmes de Telureto de Cádmio a partir de duas fontes de materiais, Cd e Te, com base no uso de diagramas de potenciais termodinâmicos para avaliar as condições de deposição. Em especial, o método proposto permite avaliar a influência de contaminantes gasosos, tais como, por exemplo, oxigênio e vapor de água, sobre as fases condensadas. O método pode ser aplicado para a deposição de outros compostos estequiométricos que também sejam mais estáveis que os elementos que os compõem. O equipamento utilizado na deposição utiliza uma técnica alternativa onde as temperaturas de fonte e de substrato são as mesmas.
