Sendo um importante e emergente ramo dentro da área dos novos materiais, a deposição de filmes de diamante CVD tem despertado cada vez mais interesse na comunidade científica internacional. O propósito principal desse trabalho é divulgar os resultados das pesquisas sobre deposição de filmes de diamante CVD, assistidos por filamento quente, u-tilizando-se amostras com substratos de Si em atmosfera contendo baixa concentração de N2 adicionada à mistura gasosa precursora. As amostras resultantes foram caracte-rizadas através do MEV, DRX e EDX, confirmando a pre-sença de filme de diamante CVD, cujos cristais apresenta-ram dimensões uniformes e o filme formado teve cobertura de toda amostra.
Biografia do Autor
Teófilo Miguel de Souza, UNESP Campus Guaratinguetá
(1) Laboratório de Pesquisa e Desenvolvimento de Dispositivos com Diamante CVD e Novos Materiais
UNESP - Guaratinguetá
Av. Dr. Ariberto Pereira da Cunha, 333, CEP 12.516-410
Jomar Esteves Bueno, Unesp Guaratinguetá
(1) Laboratório de Pesquisa e Desenvolvimento de Dispositivos com Diamante CVD e Novos Materiais
UNESP - Guaratinguetá
Av. Dr. Ariberto Pereira da Cunha, 333, CEP 12.516-410
Osiris Canciglieri Junior, PUCPR - Pontíficia Universidade Católica do Paraná
Prof. Osiris Canciglieri Junior, M. Eng. Ph.D.
Grupo de Pesquisa em Concepção e Desenvolvimento de Produtos e Sistemas
Programa de Pós-Graduação em Engenharia de Produção e Sistemas - PPGEPS
Pontifícia Universidade Católica do Paraná - PUCPR
Rua Imaculada Conceição, 1155
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