Neste trabalho estuda-se o tratamento superficial de carbo-nitretação por plasma de amostras da liga Ti6Al4V com três diferentes topografias de superfície produzidas pelos processos de polimento, shot peening e jateamento. A carbonitretação é feita em plasma com atmosfera composta de N2+Ar+C(g). A introdução, na atmosfera do plasma, do gás argônio e átomos de carbono, pulverizados de um alvo de grafite, permite a formação de camadas superficiais compostas por fases de carbonetos e carbonitretos de titânio, além de promover mudanças microestruturais na superfície das amostras. As amostras foram carbonitretadas em temperatura de 650ºC, durante cinco horas, inicialmente em atmosfera de N2/Ar (70%N2 + 30%Ar). A geração do carbono gasoso, na atmosfera do plasma, foi feita pelo bombardeamento iônico de um alvo de grafite estrategicamente localizado no interior da câmara de descargas. Os resultados indicam que há formação de uma camada mais espessa de TiN e carbonitretos na amostra jateada, porém com uma topografia muito irregular. Na amostra que sofreu shot peening verifica-se que, embora tendo uma camada menor, a topografia apresenta-se mais regular, sendo observado o mesmo na amostra polida.
