Nitretação a plasma é uma técnica de endurecimento de superfícies baseada na interação entre o plasma e a superfície metálica exposta. Embora comercialmente estabelecida, uma atenção adicional para o entendimento da nitretação de amostras com geometrias complexas é necessário, devido à formação de camadas nitretadas não uniformes. Neste trabalho, amostras cilíndricas de aço inoxidável AISI 316 com diferentes alturas (1, 3, 5, 8 e 10 mm) foram nitretadas a plasma com pressões de 360 Pa na temperatura de 500º C. A uniformidade da camada nitretada na superfície foi estudada e relacionada às condições de nitretacão e aos parâmetros do plasma medidos acima da superfície. A espessura da camada nitretada da superfície aumenta com a altura das amostras. Anéis de erosão são formados. Sua distância das bordas diminui com a altura. A espessura da camada e a uniformidade foram caracterizadas por microscopia óptica e por medidas de microdureza para avaliar o perfil de dureza na região dos anéis.