CONSTRUÇÃO DE UM SISTEMA DE SUBLIMAÇÃO EM ESPAÇO REDUZIDO

Autores

  • W. A. Pinheiro
  • I. G. Mattoso
  • L. R. O. Cruz
  • C. L. Ferreira

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v24i1.131

Resumo

Um sistema de sublimação em espaço reduzido foi construído com o objetivo de depositar filmes finos de CdTe, utilizados em células solares fotovoltaicas. A principal característica dessa técnica é a pequena distância fonte-substrato (da ordem de milímetros) e pressões de deposição na faixa do médio a baixo vácuo, o que resulta em altas taxas de deposição e permite que temperaturas de substrato tão altas como 650°C sejam utilizadas. Foram realizadas deposições de CdTe sobre substratos de vidro/óxido de estanho-índio, com a distância fonte-substrato de 2,7 mm e pressão do sistema de 10 Torr de argônio. As temperaturas da fonte e do substrato foram variadas na faixa de 650 a 750°C e 500 a 650°C, respectivamente. As altas taxas de deposição juntamente com grandes tamanhos de grão (da ordem de 2 µm) dos filmes obtidos por essa técnica tornam-na adequada para a obtenção de células solares de baixo custo.

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Publicado

2008-03-01

Edição

Seção

Artigos