Neste trabalho está sendo apresentado o desenvolvimento de elementos ópticos difrativos (EOD) de modulação completa (fase e amplitude) em vidro óptico. Foi feito o estudo dos processos de corrosão do substrato de vidro óptico com plasmas de CF4 para se obter um processo otimizado de produção dos dispositivos. O intuito da otimização é produzir EODs que gerem imagens livres de imperfeições, apresentando melhor qualidade óptica e maior rendimento. Os vidros ópticos devido a seu baixo custo são uma boa opção aos materiais comumente utilizados em microlentes e elementos difrativos. Tais vidros apresentam diversas caraterísticas físico/química que os tornam excelentes candidatos como material estrutural em dispositivos difrativos; eles são inertes quimicamente, transparentes na região que abrange tanto o visível quanto o infravermelho e são isolantes térmicos, porém apresentam problemas de corrosão devido a contaminação metálica.