Neste trabalho utilizou-se a técnica de evaporação térmica resistiva a vácuo na fabricação de filmes finos de telureto de cádmio para aplicações fotovoltaicas. Os filmes foram obtidos por evaporação do CdTe, através do aquecimento de uma única fonte plana, fazendo-se variar dois parâmetros de deposição, a taxa de deposição e a temperatura do substrato. Foi observada uma forte influência da temperatura do substrato na composição e nas propriedades microestruturais e ópticas das amostras. O aumento da temperatura do substrato favoreceu o aumento do grão e o crescimento de filmes com composição mais próxima da estequiométrica. O aumento da temperatura do substrato também contribuiu para reduzir a concentração de defeitos no interior da banda proibida. Os filmes depositados a uma taxa de 1,9 Å/s são de baixa qualidade devido à presença de óxidos, enquanto que os filmes depositados a uma taxa de 10,5 Å/s são de melhor qualidade devido à inexistência dessas fases e à cristalinidade apresentada, caracterizada por uma acentuada textura na direção (111). Os melhores filmes obtidos foram os produzidos a uma taxa de 10,5 Å/s em substratos mantidos a 300 °C.
