Filmes finos de dióxido de estanho dopados com Sb foram preparados pela técnica de molhamento via sol-gel. O efeito de um tratamento térmico intermediário na sua preparação, é analisado através de medidas de reflexão especular de raios X e microscopia eletrônica. Estes resultados mostram que a densidade para os filmes tratados a 400 °C após cada imersão, é maior que aqueles produzidos com imersões múltiplas e um tratamento térmico no final. No entanto, apesar da condutividade elétrica ser baixa, os resultados das análises de transmitância no infravermelho mostraram que a transmissividade diminui com o aumento da concentração de Sb, em acordo com a teoria de Drude. Resultados comparando deposições em diferentes tipos de substratos são também mostrados.