ESTUDO DO PROCESSO DE IMPLANTAÇÃO IÔNICA POR IMERSÃO EM PLASMA COM CAMPO MAGNÉTICO EXTERNO

Autores

  • Elver Juan dos Dias Mitma Pillaca
  • Konstantin Georgiev Kostov

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v26i2.22

Resumo

Implantação Iônica por Imersão em Plasma (3IP) é uma técnica bastante utilizada para modificação da superfície de diversos materiais. O uso de um campo magnético estático durante o processo de implantação fornece diversas vantagens em relação ao processo 3IP convencional. A aplicação de um campo magnético cria um sistema de campos ExB cruzados que permite aumentar a densidade do plasma e reter a expansão da bainha. Um sistema 3IP com campos ExB cruzados é estudado usando o código computacional KARAT para geometria cilíndrica. Nesta simulação o campo magnético é criado por um par de bobinas instalado fora da câmara de vácuo. O efeito da variação de pressão do gás sobre a corrente iônica incidente no alvo também é investigado neste trabalho.

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Publicado

2007-12-13

Edição

Seção

Artigos