Corpos de prova de aço inoxidável ISO 5832-1 foram nitretados a plasma em atmosfera 90% vol. N2 e 10% vol. H2, por um período de 1 hora. As temperaturas de processamento estudadas foram de 903, 1023 e 1143 K. As técnicas de análise empregadas foram à difração de Raios X (DRX), microscopia eletrônica de varredura (MEV), análise química por espectroscopia de energia dispersiva (EDS) e micro-dureza Vickers. Os resultados evidenciam o crescimento não difusivo da camada de compostos e o crescimento difusivo da camada nitretada. O aumento da temperatura leva a uma diminuição da dureza superficial acompanhada de uma maior profundidade de endurecimento devido ao aumento da difusividade na interface camada nitretada - substrato. A DRX mostrou a formação de nitreto de cromo (CrN) para todas as condições estudadas e, para a temperatura de 1143 K, a formação da fase ? (Fe-Ni).