ELETRODEPOSIÇÃO DE Cu SOBRE Si MONOCRISTALINO

Autores

  • L. F. O. Martins
  • L. Seligman
  • S. G. Santos
  • P. C. T. D'Ajello
  • W. P. Losch
  • C. M. Hasenack
  • A. A. Pasa

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v17i1.273

Resumo

A deposição eletroquímica de Cu sobre Si tipo-n foi investigada por voltametria cíclica. A aparência, morfologia e pureza dos filmes depositados foram caracterizados por SEM, AES e por RBS. Os resultados mostram a formação de depósitos metálicos sob regime catódico, e também sob regime anódico sempre que HF for adicionado à solução de sulfato de cobre. Os filmes de Cu preparados sob esta última condição exibem uma estrutura granular compacta e homogênea independente do potencial aplicado durante a deposição. Já os depósitos obtidos em regime catódico dependem do potencial e dos aditivos no eletrólito, para a concentração de íons de Cu utilizada.

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Publicado

2008-06-12

Edição

Seção

Artigos