CARACTERIZAÇÃO DE FILMES FINOS DE COBRE ELETRODEPOSITADOS EM SILÍCIO, POR DIFRAÇÃO DE RAIOS-X

Autores

  • E. M. Boldo
  • L. Seligman
  • L. F. O. Martins
  • C. M. Hasenack
  • W. Schwarzacher
  • A. A. Pasa
  • L. S. de Oliveira

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v17i1.274

Resumo

Filmes finos de cobre foram produzidos por deposição eletroquímica em sílico (100) a partir de soluções contendo sulfato de cobre e aditivos. As camadas metálicas foram caracterizadas pela técnica de difraçãp de raios-x (Bragg-Bretano), cujos resultados foram comparados com os obtidos pela técnica de microscopia eletrônica de varredura (SEM). Para uma concentração de 13mM de sulfato de cobre verificou-se a existência de crescimento preferencial do plano (200).

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Publicado

2008-06-12

Edição

Seção

Artigos