CARACTERÍSTICA I-V DE FILMES DE DIAMANTE CVD OBTIDOS USANDO A MISTURA ETANOL/ACETONA E HIDROGÊNIO

Autores

  • I. Doi
  • M. K. Franco
  • A. C. Peterlevitz
  • V. Baranauskas

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v14i1-2.312

Resumo

São apresentados resultados de medidas de corrente elétrica vs tensão de filmes de diamante não dopados e dopados do tipo p, sintetizados a partir da fase vapor em processo assistido por filamento quente, com dopagem efetuada simultaneamente ao crescimento, usando trioxido de boro dissolvido no líquido orgânico. As curvas IxV destes filmes mostram comportamento elétrico diretamente dependente com a dopagem, medida pela variação da razão B/C usada no crescimento. O filme não dopado apresenta a resistência elétrica mais alta, decrescendo conforme o aumento da dopagem no filme. A condutividade do filme de maior grau de dopagem (B/C=30000 ppm) mostrou um aumento de três ordens de grandeza em relação ao filme não dopado. Em todos os filmes estudados observou-se uma região de comportamento nitidamente ôhmico para tensões aplicadas baixas e outra não, para tensões mais elevadas. O valor da tensão aplicada que delimita estes dois comportamentos depende da amostra, sendo maior quanto menor for o grau de dopagem do filme.

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Publicado

2008-07-04

Edição

Seção

Artigos