Uma das grandes necessidades para a otimização dos processos de crescimento de filmes de diamante em reatores de DQFV assistidos por filamento quente é a incrementação da densidade de núcleos. São apresentados resultados de análise por microscopia de força atômica de estágios iniciais da nucleação sobre superfícies submetidas a riscagem com abrasivo de alumina ou cobertas com óleo. Neste último caso houve melhora significativa da densidade de nucleação. A análise do substrato na região da qual foi removido um grão de diamante revela detalhes da estrutura local, estando os resultados plenamente de acordo com a hipótese de que os hidrocarbonetos presentes no óleo atuam como agentes corrosivos na região circunvizinha ao núcleo de diamante, levando à formação de protuberâncias na superfície do substrato de Si e que estas atuam como indutoras à nucleação.
