Apresentamos resultados de crescimento de filmes de diamante sobre substratos de safira, obtidos pelo método da deposição química a partir da fase de vapor assistida por filamento quente (HFCVD), usando o vapor da mistura de etanol e acetona. São analisadas as influências dos parâmetros do processo nas características superficiais dos filmes obtidos e a partir destes resultados estabelecem-se as condições de crescimento. O espectro Raman dos filmes obtidos mostrou picos em 1332 cm-1 indicando a presença de cristais de diamante. Independente das condições experimentais observou-se a presença constante da fase grafítica nos filmes, com picos largos na faixa de 1500-1600 cm-1, evidenciando a sensibilidade dos parâmetros do processo na deposição do diamante em substrato de safira. Através das análises morfológicas da superfície dos filmes realizada por Microscopia de Força Atômica (MFA) constatou-se a formação de filmes uniformes constituídos por cristais de granulação aproximadamente homogênea.
