FONTE DE PLASMA TIPO “ARCJET” PARA SINTETIZAÇÃO DE FILMES DE DIAMANTE

Autores

  • P. R. P. Barreto
  • E. Del Bosco
  • V. J. Trava-Airoldi

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v11i2.368

Resumo

Apresentam-se o projeto e os resultados preliminares de caracterização de uma fonte de plasma gerado através de uma descarga elétrica de corrente contínua tipo arco em baixa pressão (“ARCJET”). São discutidos alguns aspectos da dinâmica dos gases neste tipo de geometria, assim como, alguns problemas relacionados com a estabilidade do jato de plasma. O jato de plasma gerado será utilizado para a sintetização de filmes de diamante com alta taxa de crescimento, pela técnica de deposição química, a partir da fase vapor.

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Publicado

2008-09-19

Edição

Seção

Artigos