Implantação iônica por imersão em plasma, simulação, campo magnético.
Resumo
Usando o código computacional KARAT em geometria cilíndrica foi investigado o efeito da tensão do alvo no processo de implantação iônica por imersão em plasma com campo magnético externo. Encontramos que a aplicação de um campo magnético transversal em relação ao campo elétrico suprime a expansão da bainha, gerando uma região com alta densidade de plasma ao redor do alvo. Por outro lado, a densidade de corrente iônica de implantação apre-senta uma distribuição não uniforme, mostrando uma dose maior no centro do alvo. Esses resultados são explicados em termos da ionização em um sistema de campos cruzados ExB devido as colisões dos elétrons com o gás residual.
