DEPOSIÇÃO DE FILME METÁLICO EM AMOSTRAS DE VIDRO EM GAIOLA CATÓDICA

Autores

  • Francisco Odolberto de Araújo UFERSA
  • Rômulo Ribeiro Magalhães de Sousa CEFET-PI
  • José Alzamir Pereira da Costa UFC
  • Clodomiro Alves Jr. UFRN

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v27i3.442

Palavras-chave:

Nitretação a plasma, gaiola catódica, catodo oco

Resumo

Camadas de nitretos de ferro foram depositadas sobre amostras de vidro em gaiola catódica sob condições variadas de pressão, temperatura, tempo de tratamento e razão da mistura N2-H2, com objetivo de analisar a influência da deposição nesta técnica de nitretação. Em todas as condições de trabalho foram depositadas uma camada de filme metálico, como evidenciado através das imagens de microscopia óptica e MEV e também pela análise dos difratogramas de raios-X, confirmando a eficiência desta técnica que utiliza o efeito de cátodo oco nos furos da gaiola para obter elevada taxa de deposição.

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Publicado

2009-05-18

Edição

Seção

Artigos