Camadas de nitretos de ferro foram depositadas sobre amostras de vidro em gaiola catódica sob condições variadas de pressão, temperatura, tempo de tratamento e razão da mistura N2-H2, com objetivo de analisar a influência da deposição nesta técnica de nitretação. Em todas as condições de trabalho foram depositadas uma camada de filme metálico, como evidenciado através das imagens de microscopia óptica e MEV e também pela análise dos difratogramas de raios-X, confirmando a eficiência desta técnica que utiliza o efeito de cátodo oco nos furos da gaiola para obter elevada taxa de deposição.