Descrevemos projeto, processo de fabricação e características preliminares de novos microssensores piezoresistivos para pressão diferencial, desenvolvidos pelo grupo de dispositivos micromecânicos de silício do INPE. Tais dispositivos são obtidos em lâminas de silício, conjugando processos convencionais de microeletrônica a técnicas de corrosão química anisotrópica, que permitem realizar pastilhas com geometrias e monoliticamente acopladas a um circuito de transdução. Os melhoramentos incorporados ao presente sensor em relação a uma versão anteriormente desenvolvida pelo grupo, incluem otimização geométrica das difusões piezoresistivas e difusões adicionais para prover balanceamento de zero chip”, bem como procedimentos para alinhamento cristalográfico e entre faces da lâmina empregados com sucesso na confecção de um acelerômetro.
