CARACTERIZAÇÃO DE UMA MÁQUINA DE PLASMA QUIESCENTE ACOPLADA A UMA CÂMARA DE PLASMA R.F.

Autores

  • M. Massi
  • H. S. Maciel
  • J. C. Thomaz Júnior
  • J. P. Sudano

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v10i1.459

Resumo

O trabalho tem o objetivo de caracterizar uma máquina de plasma constituída por duas câmaras, sendo que em uma câmara o plasma é produzido por uma descarga termoiônica D.C. com confinamento magnético superficial (plasma quiescente) e na outra o plasma é produzido por uma descarga R.F.. Através de sondas de Langmuir foram levantadas curvas características (corrente x tensão) de forma a obter os parâmetros básicos do plasma: temperatura de elétrons, densidade de elétrons, potencial de plasma e potencial flutuante. O comportamento destes parâmetros com a pressão de trabalho, posição de sonda no interior da câmara e potência RF é investigado e interpretações qualitativas são apresentadas com base nos mecanismos de descarga DC e RF.

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