A curva típica de velocidade de bombeamento de bombas iônicas por “sputtering” apresenta um máximo entre (10-5 e 10-6)mbar. A pressões na região de 10-9 mbar a velocidade cai para cerca de 45% do seu valor máximo. Essa característica das bombas iônicas é bastante inconveniente pois significa uma grande redução na eficiência de bombardeamento na região de trabalho (10-9 ~ 10-10)mbar. Neste artigo é descrito um protótipo de alto desempenho na região de ultra-alvo vácuo. A velocidade máxima é de 70 ?/s (N2 seco), a 10-6 mbar, e se reduz a 81% deste valor a 10-9; a pressão final é de 2,4x10-10 mbar. São descritos, em detalhes, o equipamento e o procedimento utilizados na avaliação das características do protótipo.
