Espectroscopia de Emissão Óptica (OES) é uma poderosa ferramenta de monitoramento do plasma, com o objetivo de conhecê-lo e, para determinados casos, torná-lo mais eficiente em processos de modificação superficial tais como nitretação. Especialmente em se tratando de nitretação por plasma, é necessariamente importante que vazamentos do reator de tratamento sejam minimizados para evitar a contaminação do processo devido a espécies indesejáveis da atmosfera. Porém, a capacidade de vedação de cada reator tem um limite no qual não pode ser ultrapassado. Portanto, para reduzir as espécies contaminantes num reator de nitretação, foi estudado o plasma atmosférico em baixa pressão através da OES, em que espécies contaminantes puderam ser identificadas e reduzidas através da adição do gás hidrogênio.
