PROCESSO DE OBTENÇÃO DE "GATE" E CONTATOSDE DRENO E FONTE DE UM FET DE GaAs PELSO MÉTODOS DE METALIZAÇÃO POR "LIFT-OFF" E SOMBRA

Autores

  • M. Saito
  • A. Flacker
  • J. K. da C. Pinto

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v1i1.635

Resumo

Neste trabalho desenvolvemos a técnica de obtenção do gate e contatos de dreno e fonte de um MESFET(Metal Schottky Field Effect Transistor) de GaAs, utilizando-se os processos de metalização por " Lift-off" e sombra. Empregando-se esses métodos conseguimos comprimento do gate em torno de 1?m e o espaçamento entre a fonte e o dreno de 3?m.

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