Neste trabalho determinamo a taxa de deposição por bombardeamento ("Sputtering") do titânio e do Paládio, e a taxa de decapagem ("etching") desses materiais para soluções químicas utilizadas. Construímos resistores em lâminas de silício previmente difundidas, tendo como contato uma estrutura multicamada de Titânio-Paládio-Ouro, sendo verificado o comportamento da resistividade de contato após recozimentos térmicos.
