Neste trabalho utilizamos filmes finos evaporados por feixe de elétrons para a construção de guias da ondas ópticos planares.
Os materiais ensaiados foram o óxido de aluminio(Al2O3) e o pentóxido de tântalo (Ta2O5).
Com o Ta205, não foram feitos ensaios de guiamento óptico mas foi investigado o efeito das condições de recozimento na absorção do filme.
Caracterizamos os filmes de Al203 pelo método de modos guiados,em ternos de medidas de índice de refração e espessura do filme. Também foram realizadas medidas de atenuação.
