A microeletrônica vem se desenvolvendo com novas tecnologias e a hibridização das antigas com novos conceitos e novos instrumentos. Neste artigo procuramos mostrar as vantagens da fotoreprodução coerente na operação de padrões submicrométricos. Para tanto descrevemos a construção de um laser de N2 TEA que é a primeira fase de tal trabalho. Foram obtidas picos de -200 kw,f=5 pps, facilmente controláveis com Thyratron.
