DEPOSIÇÃO A PLASMA DE FILMES FINOS DE POLÍMEROS

Autores

  • M. A. B. de Moraes

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v6i1-2.680

Resumo

Filmes finos de polímeros são produzidos através de uma descarga luminescente em gases orgânicos em baixas pressões. Os filmes apresentam um alto grau de uniforrnidade, boa aderência e propriedades óticas e elétricas relevantes, tendo promissoras aplicações em dispositivos termo e foto-sensíveis, superficies seletivas, revestirrentos anti-corrosão e máscaras de alta resolução para circuitos integrados. Serão apresentados os métodos de deposição de po1ímeros empregados no laboratório, incluindo o processo de incorporação de metal nos filmes por técnicas combinadas de polimerização-”sputtering” polemerização-evaporação. Os resultados de investigação em filmes finos de polímero puro e com metal incorporado, obtidos a partir de alguns gases orgânicos, serão discutidos tendo por base análises de microscopia eletrônica, espectros de transmssão ótica e medidas de condutividado elétrica em função de temperatura.

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