"MAGNETRON PUTTERING"(CONSTRUÇÃO E APLICAÇÃO)

Autores

  • S. Eleutério Filho
  • E. A. Farah
  • S. A. B. Bilac

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v6i1-2.687

Resumo

Construimos um sistema de vácuo para a deposição de filme pela técnica “magnetron sputtering” Foraa projetados e construidos eletrodos de várias configurações com imãs permanentes para o confinamento de plasma. As geometrias empreqadas foram planares (circulares e retangular).Os catodos foram caracterizados pela curva I—V em função da pressão de gás (Argônio). O “magnetron” retangular foi o que apresentou melhores resultados, se comparados com a atuaL bibliografia do assunto.

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