DISTRIBUIÇÃO DE ESPESSURA EM FILMES FINOS POR DEPOSIÇÃO A VÁCUO

Autores

  • R. Verzini
  • S. A. A. Nobre

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v3i1-2.690

Resumo

A Produção de filmes finos para componentes opticos numa indústria exige uma atenção especial no sentido de obter reprodutibulidade e o maior aproveitamento possível da área útil no sistema de evaporação. Daí a necessidade de se obter uma geomedtria conveniente e que minimize os efeitos causados pela variação da parâmetros que afetam sensivelmente a distribuição do vapor. Discutiremos os resultados obtidos na fabricação de um filme com particular distribuição de espessura.

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