Propõe-se como técnica de medida de não uniformidade de filmes finos a medida de espessura em diferentes pontos a partir das constantes de propagação de modos guiados. O Método se aplica a filmes transparentes com espessura suficientes para se comportar como guia de ondas. Apresenta-se ainda uma análise da sensibilidade do método e de suaresolução espacial.
