Realizou-se estudo de difusão deAu-Ag na forma de filmes finos, depositados a alto vácuo, 10-5-10-6 Torr, sobre substratos de vidro.Os perfis de concentração foram obtidos através da técnica de Espectroscopia de Elétrons Auger. Utilizou-se o método de Suzuoka para a determinação dos coeficientes de difusão. Fez-se comparação e estudo de convolução na obtenção do perfil de concentração através da técnica de Retroespelhamento de Íons Rutherford.
Os coeficientes de difusão pelo contorno de grãos obtidos, no intervalo de temperatura de150°-250°C, variaram de 9,2x10-15 a 2,6x10-14 cm2/s, enquanto que os coeficientes de difusão através da rede de 3,,x10-17 a 1,8x10-16 cm2/s. Foram obtidas as energias de atividade relacionadas à difusão pelo contorno e pela rede, respectivamente de 0.21 eV e 0.40 eV.
