EVAPORADORA ACOPLADA A ELIPSOMETRO

Autores

  • A. A. P. Pohl
  • R. A. Douglas
  • H. H. Dispert

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v6i1-2.721

Resumo

Foi construída uma evaporadora à vácuo, a qual foi acoplada um elipsometro fotométrico automático. O sistema permite estudos "in situ" de propriedades óptcas de filmes evaporados. Valores de espessura de filmes de óxidos ssão obtidos a partir dos angulos elipsométricos.

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