As células solares de InP estão sendo estudadas para aplicações espaciais devido a suas propriedades interessantes de autorecozimento dos danos pela radiação à temperatura ambiente, através de passagem da corrente direta. Foram depositados filmes finos de ITO pela pulverização catódica tipo magnetron de corrente contínua (CC) e rádio freqüância (RF), sobre monocristais de InP, num equipamento especial. Foram utilizados os valores otimizados de pressão parcial de oxigênio para cada taxa de deposiçao. Foi estudada a variação de densidade de corrente de curto oircuito, voltagem de circuito aberto, fator de preenchimento e eficiência de conversão fotovoltaica com a taxa de deposição, valor da distância entre fonte—substrato e varredura dos substratos abaixo do alvo. Obteve-se eficiências da conversão de 13,2% (Global AMl,5 1000 W/m2) por ambas as técnicas de CC e RF. Conseguiu—se também células com a densidade de corrente de curto circuito de 34,64 mA cm-2 (AM O)que constitui o maior valor publicado até a presente data para as células basedas em InP.
