Ligas de Cu – Zn (latão) são largamente aplicadas na indústria metalúrgica, pois apresentam propriedades como: alta resistência e ductilidade para trabalhos a frio. Uma das principais aplicações para filmes finos de Cu – Zn é a fabricação de pós de alta qualidade para a produção de micro espelhos. Assim, é importante avaliar de forma apropriada as propriedades de filmes de latão, bem como sua relação com seus parâmetros de deposição. A avaliação das propriedades mecânicas de filmes é atualmente realizada através de testes instrumentados de dureza. Entretanto muitos pesquisadores afirmam que as penetrações não devem exceder o valor de 10 % da espessura total do filme, pois o substrato pode influenciar de forma significativa na medida. O objetivo deste trabalho é avaliar a influência do substrato na medida de dureza, usando testes instrumentados de dureza. Amostras de filmes da liga Cu – Zn com diferentes espessuras t foram depositados sobre vidro e Si (111) pela técnica de magnetron sputtering. O valor t para cada revestimento foi medido utilizando um microscópio eletrônico da varredura (MEV). As propriedades mecânicas foram avaliadas através de testes instrumentados de dureza realizando penetrações de diferentes profundidades (h%) em relação à espessura do filme (t). Como resultado final é apresentado à relação entre os valores de dureza medidos e a profundidade indentada de acordo com valor de espessura total do filme.
