Um elipsômetro fotométrico automático, acoplado a
uma câmara de evaporação à vacuo, foi utilizado no estudo da cinética de oxidação, à temperatura ambiente,
de filmes de alumínio, níquel e titânio recém-evaporados. São apresentadas e discutidas: (i) as variações dos ângulos elipsométricos ? e ? como função da exposição dos filmes à atmosfera da câmara (P = lxl0-5 Torr);(ii) o crescimento de filmes de óxido de alumínio para diferentes condições do metal evaporado.
