UTILIZAÇÃO DE FILMES FINOS DE a-Si:H EM SENSORES DE TEMPERATURA A FIBRA ÓTICA

Autores

  • S. S. Camargo Jr.
  • L. C. G. Valente
  • L. C. A. Martins
  • A. J. C. Sampaio

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v7i1-2.753

Resumo

Neste trabalho demonstra—se a viabilidade de utilização de filmes finos de silício amorfo hidrogenado (a—Si:H) na construção de sensores de temperatura a fibra ótica. No sensor apresentado, os filmes de a—Si:H são depositados a partir da decomposição do gás SiH4 por descarga luminescente (“glow—discharge”) diretamente sobre as pontas das fibras, seguidos de uma camada refletora de Al obtida por evaporação em vácuo. Desta forma o filme de a—Si:H atua como filtro passa-baixa cuja frequência de corte varia com a temperatura, modulando a intensidade de luz que retorna pela fibra. Esta construção garante excelente rigidez mecânica e dimensões mínimas, limitadas apenas pelo diâmetro das fibras. Nos primeiros testes realizados, utilizando filmes depositados a 250°C e um laser de HeNe,como fonte luminosa, observou-se uma variação linear de 50% no sinal detetado, para uma variação de temperatura de 50°C a 200°C. Com objetivo de se obter efeito semelhante para fontes luminosas em torno de 0.8?m utilizam-se tratamentos térmicos nos filmes.

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