Um sistema CAD/CAM desenvolvido em nosso laboratório para utilização em elétron-litografia foi utilizado na transposição de diversos perfis para filmes de resinas acílicas. Estes perfis, gerados sobre substratos metálicos ou isolantes, foram submetidos a processos de deposição e corrosão para avaliação dos limites de resolução e da velocidade de transposição da imagens. A largura da linha obtida em substratos metálicos (4?m) e significativamente menor do que a obtida sobre substratos isolantes (10?m). Estes resultados não podem ser explicados através dos efeitos de espalhamento dos eletrone mas devem ser devidos a efeitos térmicos locais associados a condutividade térmica dos substratos.
