Neste trabalho descreve-se o projeto e a construção do suporte giratório dos substratos, de seu protetor (shutter), e do conjunto de refrigeração dos porta-alvos do sistema de pulverização catódica com múltiplos alvos que está sendo desenvolvido no LED para uso na deposição de filmes finos para circuitos integrados. É discutida a concepção de projeto tendo em vista a utilização de materiais e componentes nacionais, apresentando-se o desenho completo do sistema, e detalhes sobre sua construção.
