Filmes finos de PbF2, LaF2, CeF3 e NdF3, obtidos por evaporação térmica resistiva foram caracterizados pela técnica de modos guiados e por elipsometria. A comparação das medidas por modos guiados,com valores já publicados, mostra uma melhor precisão desta técnica sobre as outras correntemente utilizadas. A correlação entre as medidas por modos guiados e elipsometria é boa no caso da espessura mas fraca no caso do índice de refração.
