Camadas de dióxido de titânio foram depositadas por bombardeamento reativo a partir de alvo de titânio em um sistema tetrodo de plasma C.C. A espessura das películas, seu índice de refração e o coeficiente de extinção foram determinados por métodos elipsométricos com auxílio de um programa de computador específico. As películas foram utilizadas como camadas anti-refletoras em células solares tendo sido observados aumentos na eficiência de conversão de cercade 30%.
