TÉCNICAS DE FABRICAÇÃO DE ELEMENTOS CONCENTRADOS POR TÉCNICAS DE BOMBARDEAMENTO Á VÁCUO Autores J. L. A. Moraes P. C. S. de Paula M. Saito J. K. C. Pinto A. Flacker T. Mori DOI: https://doi.org/10.17563/rbav.v4i1-2.827 Resumo Neste trabalho é abordado a utilização da tecnologia de bombardeamento a vácuo para a obtenção de elementos concentrados passivos a serem empregados em circuitos integrados monolíticos de microondas em frequência de até 12 GHz. Downloads PDF Edição v. 4 n. 1-2 (1985) Seção Artigos
