CONSTRUÇÃO E PRINCIPIOS DE OPERAÇÕES DE BOMBAS TURBOMOLECULARES

Autores

  • D. Goetz
  • L. Heraeus

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v5i1-2.878

Resumo

Como a qualidade do vácuo torna-se mais e mais importante paradiversas aplicações, asbombas turbomoleculares são cada vez mais utilizadas em pequisas e aplicações industriais. Em todo o mundo bombas turbomoleculares estãosubstituindo bombas difusoras devido à vantagens,como: produção de vácuo “limpo” de hidrocarbonetos e facilidades de operação.

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