CONSTRUÇÃO DE UMA MICROBALANÇA DE QUARTZO ACOPLADA A UMA FONTE DE EVAPORAÇÃO PARA APLICAÇÕES EM ULTRAALTO VÁCUO (UHV)

Autores

  • C. Achete
  • H. Niehus

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v5i1-2.893

Resumo

Construi-se uma microbalança de quartzo para determinação da espessura de camadas ultra finas, em conjunto com uma fonte de evaporação. A construção divide-se em duas partes, uma parte eletrônica e uma mecânica fina. A parte eletrônica consiste na construção de um oscilador e de um circuito regulador de temperatura, para manter o crsital na sua temperatura de inversão. Todo o sistema foi montado num passador de corrente, compatívelcom as condições de ultra alto vácuo. O medidor tem uma sensibilidade para medir espessuramenor que 0,1 monocamada.

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